蔡司GeminiSEM可助您輕松實(shí)現(xiàn)亞納米級分辨率的成像。出色的成像和分析技術(shù)更使FE-SEM（場發(fā)射掃描電子顯微鏡）如虎添翼。我們采用創(chuàng)新的電子光學(xué)系統(tǒng)和全新樣品倉設(shè)計(jì)，不僅操作更加簡便，用途更加靈活多樣，還可為您帶來更高的圖像質(zhì)量。無需水浸物鏡即可拍攝低于1 kV的亞納米級圖像。探索蔡司Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)的三種設(shè)計(jì)：

• 分析測試平臺的理想選擇——蔡司GeminiSEM 360

• 實(shí)現(xiàn)高效分析——蔡司GeminiSEM 460

• 表面成像的新標(biāo)準(zhǔn)——蔡司GeminiSEM 560

GeminiSEM 360

GeminiSEM 360是用于您分析測試平臺的理想設(shè)備，為材料和生命科學(xué)、工業(yè)領(lǐng)域提供了良好的功能性。憑借其Gemini 1電子光學(xué)鏡筒，GeminiSEM 360可為各種應(yīng)用和樣品類型提供高分辨率成像及分析。

高樣品靈活性

? GeminiSEM 360是用于分析測試平臺的理想設(shè)備，為材料和生命科學(xué)、工業(yè)領(lǐng)域提供了良好的功能性。

? 同名的Gemini 1電子光學(xué)設(shè)計(jì)提供表面靈敏的高分辨率圖像，即使在低電壓條件下仍具有出色的分辨率，并在高探針電流條件下提供快速成像。

? Inlens二次電子成像和背散射電子成像可同時收集高分辨率的表面形貌和復(fù)合成分襯度信息（對電子束敏感樣品亦是如此）。

? 在低真空條件（即可變壓力）下對絕緣樣品進(jìn)行成像時，無需犧牲Inlens襯度：NanoVP保證了出眾功能，確保在不受荷電影響的情況下進(jìn)行Inlens成像。

出色的用戶體驗(yàn)

? GeminiSEM 360帶來良好的用戶體驗(yàn)：憑借其寬闊的觀察視野和高度個性化的全新樣品倉，即使在面對超大型樣品時也能輕松檢測。

? 通過蔡司ZEN Connect實(shí)現(xiàn)的關(guān)聯(lián)式成像和關(guān)聯(lián)顯微技術(shù)，讓您暢享無縫導(dǎo)航。

? 使用自動功能（如自動聚焦功能和智能探測器），輕松獲得清晰圖像。

? 幾何對稱設(shè)計(jì)的EDS端口和共面式EDS/EBSD幾何結(jié)構(gòu)，讓您在執(zhí)行高效成像和分析工作流程時更加游刃有余。

? 蔡司Predictive Service（預(yù)防性維護(hù)）可讓您充分利用系統(tǒng)運(yùn)行時間，盡享隨時進(jìn)行定期維護(hù)的優(yōu)勢。

杰出的拓展能力

? 系統(tǒng)可不斷升級是保障您的投資的前提條件。因此，GeminiSEM 360也是蔡司ZEN core軟件生態(tài)系統(tǒng)中的一員，讓您能夠暢享系統(tǒng)升級的便利。

? ZEN Connect可結(jié)合多模態(tài)和多尺度數(shù)據(jù)，ZEN Intellesis用于高級人工智能所支持的圖像分割，ZEN的分析模塊用于報(bào)告和分析分割的數(shù)據(jù)，ZEN數(shù)據(jù)存儲讓您可以通過連接實(shí)驗(yàn)室中不同設(shè)備采集的數(shù)據(jù)來集中管理項(xiàng)目。

? 作為APEER社區(qū)的成員，您可訪問其他用戶創(chuàng)建的工作流和腳本，從而遠(yuǎn)程幫助您解決難題。

? 由于提供明確的升級路徑，系統(tǒng)可隨新功能的發(fā)布得到進(jìn)一步提升。

GeminiSEM 460

GeminiSEM 460專為應(yīng)對要求嚴(yán)苛的分析任務(wù)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高效分析和自動化的工作流程。在面對顯微鏡領(lǐng)域充滿挑戰(zhàn)的分析任務(wù)時，其Gemini 2鏡筒能夠助您一臂之力，成像與分析條件可無縫切換。

兼顧高分辨率和高電流

? GeminiSEM 460專為應(yīng)對要求嚴(yán)苛的分析任務(wù)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高效分析和自動化的工作流程。

? 快速執(zhí)行高分辨率成像和分析：使用Gemini 2鏡筒，從低束流-低電壓工作條件無縫切換到高束流-高電壓工作條件（或反之）。

? 同時，可使用多個探測器對任意樣品進(jìn)行表征。

? 利用多功能樣品倉進(jìn)行高效分析，還可選擇合適的分析探測器。

? 在全新的VP模式下，調(diào)高電流，獲得計(jì)數(shù)率達(dá)4000點(diǎn)/秒的EBSD成像。

? 通過兩個幾何對稱的EDS端口和共面式EDS/EBSD配置，可以檢測化學(xué)組分和晶體取向，實(shí)現(xiàn)高速、無陰影的EDS/EBSD成像。

定制自動化工作流

? 由于擁有如此強(qiáng)大的分析能力，工作流程的自動化便顯得至關(guān)重要。使用蔡司的Python腳本API，可創(chuàng)建并配置屬于您的自動化實(shí)驗(yàn)流程。

? 根據(jù)您的個性化需求修改實(shí)驗(yàn)流程并量身定制想要的效果。

? 充分利用STEM斷層掃描成像功能：將自動傾斜和旋轉(zhuǎn)功能與特征跟蹤功能有效結(jié)合，在將所有對齊的圖像發(fā)送至專屬三維重構(gòu)軟件后，可構(gòu)建具有納米級分辨率的三維斷層成像。

? 若需要測試材料承受極限，蔡司會為您提供執(zhí)行自動化原位加熱和拉伸實(shí)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)平臺，在實(shí)驗(yàn)過程中，可自動為您呈現(xiàn)材料在加熱和拉伸下的情況，并實(shí)時繪制應(yīng)力應(yīng)變曲線。

為您帶來更多可能性

? 以Gemini 2鏡筒的設(shè)計(jì)為基礎(chǔ)，在用于材料和生命科學(xué)領(lǐng)域時，超高可調(diào)電流密度條件下的分析能力顯著提升，即使在低電壓條件下亦是如此。

? 您可充分利用各種配件來升級系統(tǒng)。例如，不僅可以加入分析設(shè)備，還可使用原位實(shí)驗(yàn)設(shè)備、冷凍成像和納米探針設(shè)備對多功能樣品倉進(jìn)行配置。存儲器可讓您連接到實(shí)驗(yàn)室中不同設(shè)備采集的數(shù)據(jù)，從而能夠集中管理項(xiàng)目。

? 在使用設(shè)備期間，可隨時輕松裝配和升級各種配置。

? 所有GeminiSEM均加入了蔡司ZEN core生態(tài)系統(tǒng)，通過這項(xiàng)功能，您可訪問ZEN Connect、ZEN Intellesis及ZEN的分析模塊，幫助您生成報(bào)告和實(shí)現(xiàn)GxP工作流程。

蔡司GeminiSEM 560掃描電鏡

蔡司GeminiSEM 560掃描電鏡全面提升了表面靈敏度、無畸變、高分辨率成像的標(biāo)準(zhǔn)，能夠在低于1 kV的條件下輕松成像。還引入了Gemini 3鏡筒及全新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot，能在任何工作條件下達(dá)到該系列的高分辨率。

輕松實(shí)現(xiàn)1 kV以下成像

? Gemini 3鏡筒在低于1 kV、分辨率低于1 nm的條件下進(jìn)行無漏磁成像，且無需樣品臺偏壓或單色器。其包含Nano-twin物鏡和全新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot。

? 采用全新可變壓力模式和探測系統(tǒng)可獲得非導(dǎo)電物質(zhì)的圖像：在VP模式下，通過低光毒性樣品交換艙后，將真空敏感樣品放入樣品倉，可確保在保留特征的同時快速獲得結(jié)果。

? 利用帶雙EDS端口的全新大樣品倉輕松分析精細(xì)樣品。出色的探測器立體角確保您獲得快速、無陰影的成像。

整合專業(yè)知識

? 該系統(tǒng)的觀察視野大大增加，從而可以輕松進(jìn)行簡便的樣品導(dǎo)航。

? 對于要求極為嚴(yán)苛的樣品，全新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot大幅提升了成像速度。其可以節(jié)省時間，讓您無需進(jìn)行耗時的對焦：此款引擎能夠驅(qū)動電子光學(xué)系統(tǒng)，放大倍率范圍從小于1倍到高達(dá)500,000倍，可全程進(jìn)行自動對中、校準(zhǔn)和聚焦。獲得專li的全新視差自動聚焦也包含在內(nèi)，全新的自動擺動功能為您在數(shù)秒之內(nèi)提供清晰圖像。

? Python腳本可在三維STEM斷層掃描成像等自動化工作流中使用這些功能。

體驗(yàn)出色的襯度

? 在您設(shè)置的工作前提下找到有效點(diǎn)意味著您已經(jīng)選擇了正確的參數(shù)組合，而實(shí)現(xiàn)理想圖像的訣竅則是找到該參數(shù)組合。Gemini無漏磁技術(shù)及其全新的Gemini 3鏡筒可為您呈現(xiàn)理想的參數(shù)組合，助您探索新信息。

? 樣品上的磁場小于2 mT，能輕松實(shí)現(xiàn)磁疇襯度成像。采用可進(jìn)行能量選擇的Inlens背散射探測器可執(zhí)行能量光譜成像，采用環(huán)形背散射探測器可執(zhí)行電子環(huán)形光譜成像。

? 使用ZEN Connect將所有數(shù)據(jù)匯集在一起，細(xì)分并報(bào)告您的發(fā)現(xiàn)。

Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)背后的科技

Gemini 1

基本原理簡介

FE-SEM專為高分辨率成像設(shè)計(jì)，性能的一個關(guān)鍵是其電子光學(xué)鏡筒。Gemini是為實(shí)現(xiàn)任何樣品的出色分辨率而特別設(shè)計(jì)的（尤其在低加速電壓下），可實(shí)現(xiàn)完整高效的探測，且操作簡單。

Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)有以下三個主要特征：

● Gemini物鏡的設(shè)計(jì)結(jié)合了靜電場與電磁場，在大幅提升光學(xué)性能的同時大大降低了對樣品的影響。如此也可實(shí)現(xiàn)對磁性材料等具有挑戰(zhàn)性的樣品的高品質(zhì)成像。

● Gemini電子束推進(jìn)器技術(shù)是一種集成光束減速器，確保了小尺寸的電子束斑和高信噪比。

● Gemini Inlens的探測設(shè)計(jì)原理通過同時探測二次電子（SE）和背散射電子（BSE），大幅縮短到圖像的時間，確保了高效的信號探測。

針對您的應(yīng)用，可以有以下優(yōu)勢：

? SEM電子束對準(zhǔn)可長期保持穩(wěn)定，改變探針電流和加速電壓對系統(tǒng)幾乎沒有影響。

? 幾乎無磁場泄露的光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)無失真高分辨率成像。

? 使用Inlens SE探測器，可通過真正的表面敏感性SE 1電子技術(shù)生成圖像，從而只獲得樣品最頂層的信息。

? 使用Inlens EsB探測器的探測設(shè)計(jì)理念，在非常低的電壓下獲得真實(shí)的材料成分襯度。

Gemini 2

充分利用快速分析

任何樣品的全面表征都需要高性能的成像和分析，另外，如今的用戶都希望設(shè)備易于設(shè)置和操作。Gemini 2光學(xué)系統(tǒng)能滿足這些需求。

高分辨率成像與分析可無縫切換

● GeminiSEM 460配備具有雙聚光鏡的Gemini 2光學(xué)系統(tǒng)。

● 連續(xù)調(diào)整電子束的電流強(qiáng)度，同時優(yōu)化束斑大小。

● 可在低束流的高分辨率成像與高束流的分析模式之間進(jìn)行無縫切換。

● 在更改成像參數(shù)后無需進(jìn)行校準(zhǔn)，省時省力。

保持靈活，高效工作

? 保持靈活：使用高電子束能量密度在低束流和高束流下進(jìn)行高分辨率成像和分析，不受您選擇的電子束能量影響。

? 樣品不會暴露于磁場中：實(shí)現(xiàn)了大觀察視野內(nèi)的無失真EBSD圖案和高分辨率成像。

? 樣品傾斜轉(zhuǎn)動時不影響電子光學(xué)系統(tǒng)的性能，磁性樣品也能輕松成像。

? 選擇適合樣品的消荷電模式：局部電荷補(bǔ)償、腔室內(nèi)可變壓力或NanoVP。

Gemini 3

在低于1 kV條件下成像——整合專業(yè)知識

Gemini 3光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化了低電壓和極低電壓下的分辨率并實(shí)現(xiàn)了襯度增強(qiáng)，確保從1 kV到30 kV的所有工作條件下成像效果可達(dá)高分辨率且包含兩個彼此協(xié)同運(yùn)作的組件：Nano-twin物鏡和全新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot。此外，它還具有高分辨率電子槍模式和可選的樣品臺減速技術(shù)（Tandem decel）。

分辨率模式——讓您看到更多細(xì)節(jié)

通過兩種模式可獲得SEM圖像的更多細(xì)節(jié)和更多探測信號。在高分辨率電子槍模式下，電子束色差降低，從而實(shí)現(xiàn)了更小的束斑；在樣品臺減速技術(shù)模式下，為樣品施加減速電壓，從而可進(jìn)一步提高1 kV以下的圖像分辨率并增強(qiáng)背散射探測器的檢測效率。

Nano-twin物鏡的優(yōu)勢：

● 在低電壓和超低電壓下達(dá)到亞納米級分辨率，實(shí)現(xiàn)更出色的信號探測效率。

● 與標(biāo)準(zhǔn)Gemini物鏡相比，在低電壓下的物鏡像差降低了三倍，從而使樣品上的磁場降低了三倍，約為1 mT。

● 優(yōu)化幾何結(jié)構(gòu)和靜電場及磁場分布。

● Inlens探測器在低電壓成像條件下的信號得到增強(qiáng)。

● 這些特性提供了在低于1 kV的條件下完成亞納米級成像的能力，而無需將樣品浸入電磁場中。

工作原理：

● Smart Autopilot優(yōu)化了通過鏡筒的電子軌跡，從而確保了在每個加速電壓下盡可能高的分辨率。

● 該自動功能實(shí)現(xiàn)了在整個放大倍率范圍內(nèi)（從1倍到2,000,000倍）的無縫對準(zhǔn)自由切換，并將觀察視野增加了10倍，從而可以在單幅圖像中對13 cm的物體成像。

● 32k×24k的圖像存儲分辨率與新的概覽模式相結(jié)合，確保在超大觀察視野內(nèi)獲得無拼接的像素密度。